✱ 静电吸盘也叫静电卡盘、ESC吸盘或Electrostatic -CHUCK 、工作原理是通过给静电吸盘电极施加一定的电势，使得在静电吸盘的电极上和搬运物体对应的位置产生极性相反的电荷，从而利用电场力将需要搬运的物体吸附在静电卡盘的表面上，静电吸盘在真空环境吸附利器真空及离子体环境下仍保持良好的吸附力

✱ 广泛应用在半导体、显示面板真空蒸镀，蚀刻，离子注入等工艺和TFT/OLED真空贴合制程。也可以轻松吸取柔软透气的物体。如针织布，网孔布等

✱ 静电吸盘使用平面整体吸附方式用力均匀，对轻薄柔软的物料吸附不产生压痕及褶皱。我公司建立了自己的静电吸附数据库和模型，对应不同的使用场景通过优化静电吸盘的设计达到较低的电压产生较大的吸力